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本发明涉及一种用于对工件的至少一个表面进行金属涂覆的方法和系统,其中在涂覆之前,借助于测量设备检测待涂覆的表面中带有峰和谷的表面结构,借助于至少一个沉积设备执行涂覆,沉积设备相对于表面移动且在该过程中施加涂覆材料,以及,基于检测到的表面结构通过控制设备控制沉积设备,其中在谷的区域中施加较多材料且在峰的区域中施加较少材料。
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112458393 A (43)申请公布日 2021.03.09 (21)申请号 202010883806.5 C23C 24/10 (2006.01) (22)申请日 2
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