一种适用于高频、宽带声表面波器件的异质层状压电基底.pdfVIP

下载本文档

0
0
约1.21万字
约 13页
2023-05-30 发布于四川
举报
版权申诉

一种适用于高频、宽带声表面波器件的异质层状压电基底.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明公开了一种适用于高频、宽带声表面波器件的异质层状压电基底，利用水平剪切型漏声表面波，其包括依次排列的叉指换能器、压电薄膜层、至少一层布拉格反射层以及衬底层；布拉格反射层是由低声阻抗层覆盖在高声阻抗层上形成的，压电薄膜层为掺钪氮化铝薄膜，掺钪氮化铝薄膜的欧拉角设置为(0°±5°、θ、ψ)时，θ和ψ分别满足以下条件：50°≤θ≤90°，40°≤ψ≤80°。本发明的异质层状压电基底，能够抑制能量向衬底的泄露，将能量集中在有效压电层内，提高压电转换效率；利用旋转欧拉角优化压电薄膜取向，能够调节声场

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112468109 A (43)申请公布日 2021.03.09 (21)申请号 202011285632.9 (22)申请日 2020.11.17 (71)申请人上海师范大学地址