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本发明揭示了一种阴极腔,包括阴极腔骨架、进液通道口和流量调节装置,所述流量调节装置包括固定层和旋转层,所述固定层安装在阴极腔骨架上并覆盖进液通道口,所述固定层和旋转层均设有多个相匹配的通孔形成阴极腔进液孔,所述旋转层可转动的与固定层相连以调节阴极腔进液孔大小。本发明通过调节旋转层与固定层的通孔的重合度来灵活调节进入阴极腔内溶液流量的大小,从而防止阴极腔内溶液鼓起的现象,保持液面平稳,提高电镀质量。
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112410851 A (43)申请公布日 2021.02.26 (21)申请号 201910787359.0 (22)申请日 2019.08.23 (71)申请人 盛美
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