退火腔进气装置.pdfVIP

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2023-05-29 发布于四川
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退火腔进气装置.pdf

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本发明提供了一种退火腔进气装置，包括供气管路、多条供气支路、多个散气腔以及进气筒，每个散气腔由一条供气支路与供气管路连通，所述进气筒的一端与供气支路的出气口相连并位于所述散气腔内，所述进气筒的侧壁上开有多个散气孔。本发明通过每个散热腔内增加一个用于缓冲均布工艺气流的进气筒，解决了现有装置内工艺气体一下子涌入散气腔内，无法在散气腔内均匀分布后均匀进入退火腔的问题，保证了退火腔内工艺气体的均匀性。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112410518 A (43)申请公布日 2021.02.26 (21)申请号 201910784371.6 C22F 1/08 (2006.01)