二极管及其制备方法.pdfVIP

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2023-05-29 发布于四川
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二极管及其制备方法.pdf

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本发明涉及一种二极管及其制备方法。该二极管的制备方法包括以下步骤：提供表面形成有外延层的衬底，所述外延层的表面包括主结区和包围所述主结区的非主结区；在所述非主结区的表面形成隔离层，并形成与所述主结区位置对应的主结槽；对所述主结槽的底面进行扩铂处理；在所述扩铂处理后的所述主结槽的底面形成电阻层，得到中间器件；其中，所述电阻层在所述主结区的投影面积小于所述主结区的面积；在所述中间器件的正面形成与所述主结区连接并与所述电阻层绝缘设置的阳极，和位于所述电阻层的表面且与所述阳极绝缘设置的电阻电极；在所述中

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112397388 B (45)授权公告日 2022.01.28 (21)申请号 201910760385.4 (56)对比文件 (22)申请日 2019.08.16