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本发明公开了金刚石薄膜复铜基热沉及其制备方法。该制备方法包括:提供热沉基板并对所述热沉基板进行预处理;在所述热沉基板上形成阻挡层;在述阻挡层上形成结合层;在所述结合层上形成金刚石导热层。该热沉包括:热沉基板;阻挡层,设置于所述热沉基板上;结合层,设置于所述阻挡层上;金刚石导热层,设置于所述结合层上。通过在热沉基板上形成高致密、高结合、高导热的金刚石导热层,提高了热沉基板的导热能力,同时可约束热沉基板的热膨胀,使与芯片焊贴后不会引起失效,并通过形成阻挡层和结合层从而使金刚石薄膜复铜作为热沉材料的实
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112420638 A (43)申请公布日 2021.02.26 (21)申请号 20191
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