一种高性能声表面波器件及其制备方法.pdfVIP

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2023-05-29 发布于四川
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一种高性能声表面波器件及其制备方法.pdf

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本发明公开一种高性能声表面波器件及其制备方法。包括：衬底、低声阻抗层、压电层和金属电极；低声阻抗层设置在衬底上，压电层设置在低声阻抗层上，金属电极设置在压电层上。制备：S1、获取衬底，在衬底上依次制备低声阻抗层和压电层，用有机溶剂和去离子水对压电层清洗；S2、在压电层上光刻出周期性排列的光刻胶图形；S3、采用电子束蒸发技术，在光刻胶图形上制备出周期性排列的金属叉指电极；S4、用剥离工艺，在金属薄膜上制备金属电极。本发明的高性能声表面波器件可以在保证较大的机电耦合系数的同时，提高器件的Q值，和传统

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112398456 A (43)申请公布日 2021.02.23 (21)申请号 202011305105.X H03H 9/25 (2006.01)