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本发明属于微电子机械系统的技术领域,提出了一种大功率的微波场合的微波功率传感器阵列,具体涉及一种微波功率传感器阵列,主要由微波传感器组、信号电缆和处理器构成,微波传感器组包括M×N个微波传感器,每个微波传感器的电缆合成一束后构成信号电缆,信号电缆接入处理器,处理器对接收的每个微波传感器的电信号进行处理和转换,利用微波热效应与微波吸收材料温度变化的具有的正相关关系,通过对温度参数的测定从而确定一定空间范围内的微波平均功率和功率分布。
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112415262 A (43)申请公布日 2021.02.26 (21)申请号 20191
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