成膜装置及成膜方法.pdfVIP

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2023-05-29 发布于四川
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成膜装置及成膜方法.pdf

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本发明的一个方式涉及的成膜装置具有腔室、工作台、光源单元、气体供给部以及清洗单元。所述腔室具有：腔室主体，其具有成膜室；顶板，其安装在所述腔室主体，具有窗部。所述工作台配置在所述成膜室，具有支承基板的支承面。所述光源单元设置在所述顶板，具有经由所述窗部向所述支承面照射能量束的照射源。所述气体供给部将原料气体供给至所述成膜室，所述原料气体包含受所述能量束的照射而固化的能量束固化树脂。所述清洗单元连接至所述腔室，向所述成膜室导入清洗气体，所述清洗气体去除附着在所述顶板、腔室的所述能量束固化树脂。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112424389 A (43)申请公布日 2021.02.26 (21)申请号 201980043051.3 (74)专利代理机构北京柏杉松知识产权代理事