用于切割管芯附接膜的方法.pdfVIP

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2023-05-29 发布于四川
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用于切割管芯附接膜的方法.pdf

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本发明涉及一种在复合膜上切割衬底的方法。提供了一种具有支撑膜、框架和衬底的工件。所述衬底具有顶表面和底表面。所述衬底的顶表面具有至少一个管芯区域和至少一个切割道区域。所述复合膜介于所述衬底和所述支撑膜之间。使用衬底蚀刻处理从所述至少一个切割道区域蚀刻衬底材料，以露出复合膜的一部分。使用第一蚀刻处理蚀刻所述复合膜的第一组分。使用第二蚀刻处理等离子体蚀刻所述复合膜的露出部分的第二组分。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112424927 B (45)授权公告日 2022.03.18 (21)申请号 201980036877.7 (73)专利权人等离子瑟姆有限公司