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本公开提供一种具有气隙结构的半导体元件及其制备方法。该半导体元件包括一第一位元线,设置于一半导体基板之上。该半导体元件另包括一电容接触和一介电结构,设置于该半导体基板之上且邻近该第一位元线。该电容接触、该介电结构和该第一位元线通过一气隙结构与彼此分离。
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112397511 A (43)申请公布日 2021.02.23 (21)申请号 20201
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