利用图案识别以自动地改良SEM轮廓测量准确度和稳定性.pdfVIP

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2023-05-29 发布于四川
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利用图案识别以自动地改良SEM轮廓测量准确度和稳定性.pdf

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公开一种用于通过测量部分地基于目标设计而构造的被印制的设计上的特征来改良过程模型的方法。所述方法包括：获得a)来自图像捕获装置的所述被印制的设计的图像和b)基于所述图像中的形状的轮廓。所述方法还包括：通过图案识别过程来鉴别所述目标设计上的包括所述特征的图案；和确定所述轮廓上的与所述特征相对应的坐标。所述方法还包括：通过至少a)基于所述坐标来提供所述特征的测量结果和b)基于所述测量结果与所述目标设计中的相应的特征的比较来校准所述过程模型，改良所述过程模型。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112424694 A (43)申请公布日 2021.02.26 (21)申请号 201980046453.9 (74)专利代理机构中科专利商标代理有限责任