从Si晶片生产工艺和硅晶片生产设备中回收亚微米Si颗粒的方法.pdfVIP

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2023-05-29 发布于四川
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从Si晶片生产工艺和硅晶片生产设备中回收亚微米Si颗粒的方法.pdf

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本发明涉及一种处理从硅锭制成晶片的切割步骤中收回的冷却液的方法，所述切割步骤基于金刚石固定磨料工艺，所述冷却液在此被称为悬浮液，该悬浮液是包含锯屑颗粒和诸如表面活性剂、润滑剂、消泡剂的添加剂的水溶液，所述添加剂具有低于5体积％的浓度，所述方法包括用于至少部分地分离所述悬浮液中硅颗粒和液体部分的步骤，所述步骤包括：‑附聚步骤(100‑3)，其中将悬浮液在容器中储存一段长于10分钟的预定时长以使剩余的锯屑颗粒能够附聚而形成锯屑颗粒簇(100‑3‑2)，‑离心步骤(100‑4)，以产生包括锯屑颗粒簇的

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112424401 A (43)申请公布日 2021.02.26 (21)申请号 201980047668.2 (74)专利代理机构北京汉鼎理利专利代理事务