一种悬空型分段式共面波导薄膜电路结构.pdfVIP

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2023-05-29 发布于四川
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一种悬空型分段式共面波导薄膜电路结构.pdf

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本发明提供了一种悬空型分段式共面波导薄膜电路结构，包括腔体、薄膜电路基板以及共面波导；其中腔体包括由金属材料制成的上壳体与下壳体；薄膜电路基板悬空设于由上壳体与下壳体构成的密闭空腔中；共面波导包括平行设于薄膜电路基板上的信号线、第一分段式地线以及第二分段式地线，第一分段式地线与第二分段式地线关于信号线对称，包括多个沿信号线信号传输方向设置的地线单元，每个相邻地线单元之间存在断隙。本发明通过释放薄膜电路共面波导中地线金属对薄膜电路基板产生的应力，从而可支持更大尺寸微米级厚度的薄膜电路设计与制作，提

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112423467 A (43)申请公布日 2021.02.26 (21)申请号 202011167831.X (22)申请日 2020.10.28 (71)申请人中国电子科技集团公司第五十五研