退火腔进气装置.pdfVIP

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2023-05-29 发布于四川
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退火腔进气装置.pdf

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本发明提供了一种退火腔进气装置，包括供气管路、多条供气支路、多个散气腔和多个气流控制楔子，每个散气腔通过一条供气支路与供气管路相连通，每个供气支路与供气管路之间安装有一个气流控制楔子；气流控制楔子包括固定端和导气管，导气管的一端与固定端相连，另一端开有出气口，固定端与供气管路可拆卸固定，导气管穿入供气管路后伸入供气支路中，导气管上还开设有贯穿的导气孔，所述导气孔与供气管路相通。本发明使用一个混气模块供应多个退火腔体的工艺气体，减少了成本以及设备体积，通过在退火腔进气装置上增加气流控制楔子，在工艺

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112410693 A (43)申请公布日 2021.02.26 (21)申请号 201910784408.5 C23C 18/38 (2006.01) (22)申请日 2