化学机械研磨设备防碰撞侦测系统.pdfVIP

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2023-05-29 发布于四川
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化学机械研磨设备防碰撞侦测系统.pdf

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本发明属于化学机械研磨设备技术领域，具体的说是化学机械研磨设备防碰撞侦测系统，包括支撑单元和打磨单元；支撑单元包括转轴、转盘和研磨垫；支撑单元的一侧打磨单元；打磨单元包括转动杆、横杆、电机和研磨头；电机与研磨头之间设有圆柱形状的基板；基板的下端面与研磨头的上端面之间留有间隙，基板的外圈上设有距离传感器；在研磨头一旁安置距离传感器，实时检测研磨垫用调节器与研磨头之间的距离，一旦距离传感器检测距离小于用户设置的安全距离时，危险距离信息传到操控电脑上，操控电脑将信号反馈给研磨垫用调节器的驱动器，电机停

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112405327 B (45)授权公告日 2022.07.15 (21)申请号 202011280766.1 审查员林森 (22)申请日 2020.11.16