半导体光检测装置.pdfVIP

下载本文档

1
0
约3.37万字
约 32页
2023-05-29 发布于四川
举报
版权申诉

半导体光检测装置.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

半导体基板具有互相相对的第一主面和第二主面、以及矩阵状地二维排列的多个单元。各单元包含以盖革模式动作的至少一个雪崩光电二极管。在半导体基板，贯通半导体基板的沟槽以从正交于第一主面的方向观察时包围各单元的方式形成。遮光构件光学地分离多个单元中的互相相邻的单元。遮光构件具有在沟槽的第一主面上的开口端与沟槽的第二主面上的开口端之间沿半导体基板的厚度方向延伸的第一部分、和从第二主面突出的第二部分。绝缘膜具有覆盖第二部分的部分。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112424634 A (43)申请公布日 2021.02.26 (21)申请号 201980047257.3 (74)专利代理机构北京尚诚知识产权代理有限