一种氮化硅陶瓷烧结用的烧结炉及其工作方法.pdfVIP

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2023-05-29 发布于四川
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一种氮化硅陶瓷烧结用的烧结炉及其工作方法.pdf

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本发明涉及一种氮化硅陶瓷烧结用的烧结炉及其工作方法，其中此种氮化硅陶瓷烧结用的烧结炉包括炉体，设置在炉体内部的发热体和承载在发热体上的坩埚，所述氮化硅陶瓷烧结用的烧结炉还包括一用于传输高压气体的管道装置，其中所述管道装置适于将高压气体传输至发热体的下方。保证了加热温度持续均匀，减少出现烧结的合金材料发生重结晶的现象；通过管道装置向炉体加入高压气体时，配合控风装置，减小高压气体对坩埚所产生的影响，同时使得坩埚持续均匀的受热，使坩埚中材料充分反应；通过设置在炉壁上的温度传感器，检测炉体内部的温度，从

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112393583 B (45)授权公告日 2022.05.17 (21)申请号 202011328218.1 F27B 5/14 (2006.01)