晶圆吸附装置.pdfVIP

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2023-05-29 发布于四川
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晶圆吸附装置.pdf

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本发明为晶圆吸附装置，包括吸盘、密封圈、固定环和环形槽，所述吸盘上固定有固定环，所述密封圈内部设置有安装腔，所述安装腔与所述固定环相匹配，所述密封圈下方设置有环形槽，所述吸盘内固定有密封罩，所述密封罩下方与所述固定环连接，所述密封罩上方固定有挤压槽，所述吸盘上设置有螺栓，所述密封罩上设置有定位槽，所述定位槽设置在所述挤压槽周侧，所述定位槽内固定有定位器，所述螺栓贯穿所述吸盘，该晶圆吸附装置，结构简单，使用方便，只需要将吸盘吸附晶圆，再利用螺栓将吸盘内空气排空，使吸盘与晶圆之间形成真空空间，将晶圆

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112420586 A (43)申请公布日 2021.02.26 (21)申请号 202011245805.4 (22)申请日 2020.11.10 (71)申请人芯米（厦门）半导体设备有限公司