缺陷扫描结果处理方法、装置、系统和存储介质.pdfVIP

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2023-05-29 发布于四川
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缺陷扫描结果处理方法、装置、系统和存储介质.pdf

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本申请提供了一种缺陷扫描结果处理方法、装置、系统和存储介质，通过获取包含一或多片晶圆的缺陷信息的扫描结果文件；将所述扫描结果文件转换为文本文件，并修正所述文本文件中的所述缺陷信息。本申请能够自动实时处理，解决人工出错率问题和纸本记录的时效性及保存限制问题，同时解决纸本记录查询速度慢，过程繁琐问题，另外，能够完整记录及还原晶圆缺陷分布及缺陷大小，帮助分析特定分布或方向性缺陷问题。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112417191 A (43)申请公布日 2021.02.26 (21)申请号 20191