喷气头结构及使用其的等离子体处理设备.pdfVIP

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2023-05-29 发布于四川
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喷气头结构及使用其的等离子体处理设备.pdf

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本发明实施例涉及喷气头结构及使用其的等离子体处理设备。本发明实施例提供一种喷气头结构及一种等离子体处理设备。所述喷气头结构包含在第一表面上具有第一区带及第二区带的板体。多个第一贯穿孔在所述第一区带中，所述第一贯穿孔中的每一者具有与所述第一贯穿孔中的其它者统一的直径。多个第二贯穿孔在所述第二区带中。所述第一区带与所述第二区带连接，且所述第一贯穿孔中的每一者的所述直径大于所述第二贯穿孔中的每一者的直径。本发明实施例还提供一种包含所述喷气头结构的等离子体处理设备。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112410759 A (43)申请公布日 2021.02.26 (21)申请号 20201