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气味传感器及气味传感器的制造方法.pdfVIP

气味传感器及气味传感器的制造方法.pdf

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    气味传感器具备：离子传感器，其将设置有根据测定对象的状态而使电位变化的感应膜的感测部形成于半导体基板上而成；物质吸附膜，其配置于感应膜上，通过吸附气味物质而使状态变化；及参考电极，其对物质吸附膜施加参考电压。参考电极以与感应膜分开且自半导体基板的厚度方向观察不与感测部重叠的方式配置。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112400108 A (43)申请公布日 2021.02.23 (21)申请号 201980046068.4 (74)专利代理机构 北京尚诚知识产权代理有限

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