一种用于大型真空镀膜机工件挂板传送的顶底机械手.pdfVIP

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2023-05-29 发布于四川
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一种用于大型真空镀膜机工件挂板传送的顶底机械手.pdf

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一种用于大型真空镀膜机工件挂板传送的顶底机械手，其包括顶机械手和底机械手，它们分别作用在工件挂板的顶、底从而配合夹紧工件挂板，两机械手均由一个以上的传送单元构成，所述传送单元由动力组件、直线模组和运动组件组成；所述动力组件与所述直线模组相连，所述运动组件安装在所述直线模组上，所述动力组件为所述直线模组提供动力，驱动所述运动组件做直线往复运动；所述运动组件包括运动组件支架，还包括夹紧块安装板、夹紧块、真空电机、螺杆型直线模组、倾斜设置的直线导轨和两直线轴承，其自身结构可驱动其夹紧块上升或下降，从而

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112410748 A (43)申请公布日 2021.02.26 (21)申请号 202011259388.9 (22)申请日 2020.11.11 (71)申请人广东汇成真空科技股份有限公司