一种高温抗氧化钽铪碳三元陶瓷碳化物涂层及其制备方法.pdfVIP

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2023-05-29 发布于四川
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一种高温抗氧化钽铪碳三元陶瓷碳化物涂层及其制备方法.pdf

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本发明属于表面防护技术领域，具体涉及一种高温抗氧化钽铪碳三元陶瓷碳化物涂层及其制备方法。按原子百分比计，碳化物涂层由下述元素组成，钽15％～30％，铪：30％～45％，碳：40％～50％。通过高通量实验方法筛选出钽铪碳三元化合物体系中抗氧化的成分范围，采用组合磁控溅射方法制备钽铪碳三元化合物结晶态涂层。利用该方法制备的涂层具有良好的抗氧化性能，氧化起始温度高于500℃，优于二元碳化钽和碳化铪，氧化产物高温相稳定优异；相比于其他方法，本发明涉及的制备方法，具有工艺简单、无需陶瓷粉体前驱体和反应气体

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112391592 A (43)申请公布日 2021.02.23 (21)申请号 202011365813.2 (22)申请日 2020.11.29 (71)申请人中国科学院金属研究所