OPC修正方法及OPC修正装置.pdfVIP

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2023-05-29 发布于四川
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本发明提供了一种OPC修正方法及OPC修正装置。所述OPC修正方法，包括如下步骤：分割一掩膜图案的边缘，形成多个片段；根据一预设规则获取每一所述片段中的原点；分别对每一所述原点进行多次循环步骤，获取与每一所述原点对应的多个重叠面积；根据各原点之间重叠面积的匹配程度对多个所述原点进行分组；采用相同的补偿值对同一组内各原点所在的片段进行修正；所述循环步骤包括：自所述原点向外延伸预设距离，形成关于所述原点中心对称的评估图形；获取所述评估图形与所述掩膜图案之间的重叠面积，并以所述评估图形整体作为下一次循

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112415855 B (45)授权公告日 2022.04.12 (21)申请号 201910777988.5 (56)对比文件