基于激光加工技术的自供能柔性液滴传感器的制备工艺.pdfVIP

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2023-05-29 发布于四川
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基于激光加工技术的自供能柔性液滴传感器的制备工艺.pdf

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本发明公开了基于激光加工技术的自供能柔性液滴传感器的制备工艺，基于光热效应，利用脉冲激光在聚酰亚胺膜表面产生多孔石墨烯指叉电极；多孔石墨烯指叉电极固定在旋涂仪上，烘烤，旋涂的聚二甲基硅氧烷厚度为100‑500微米；烘箱中烘烤1小时，以充分固化聚二甲基硅氧烷；将聚二甲基硅氧烷薄膜从聚酰亚胺基底上剥离，可将图案化的多孔石墨烯转移到聚二甲基硅氧烷薄膜A面上；最后，利用脉冲激光在步骤五中所得到的样品B面上交叉扫描产生超疏水结构。采用此种方法提供的柔性液滴传感器具有可大面积快速制备、成本低、制备简易等特点

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112388168 A (43)申请公布日 2021.02.23 (21)申请号 202011316167.0 (22)申请日 2020.11.22 (71)申请人镇江绅芯易创智能科技有限公司