一种易于转移的微型发光二极管的制造方法.pdfVIP

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2023-05-29 发布于四川
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一种易于转移的微型发光二极管的制造方法.pdf

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本发明提供一种易于转移的微型发光二极管的制造方法，包括如下步骤：在蓝宝石衬底上沉积外延层，在外延层上涂覆光阻层；在光阻层上涂覆牺牲层；将带有第一胶缓冲层的第一玻璃衬底与牺牲层贴合；剥离掉蓝宝石衬底；对外延层进行刻蚀，形成微型发光二极管阵列结构；将带有第二胶缓冲层的第二玻璃衬底与微型发光二极管阵列结构贴合；剥离掉第一胶缓冲层；对牺牲层和光阻层进行刻蚀；对第二胶缓冲层进行解胶；将微型发光二极管与一基板键合区进行键合；剥离网状的牺牲层和光阻层。本发明通过光阻层和牺牲层形成网状结构，将转移前的Micro

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112397420 A (43)申请公布日 2021.02.23 (21)申请号 202011106340.4 (22)申请日 2020.10.16 (71)申请人南京中电熊猫液晶显示科技有限公