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本发明公开了一种用于功率器件的深低温控温系统，包括：储液罐，存储适用于不同的温区的多种冷却液中的至少一种；气体供应模块，与储液罐连接，并且向储液罐内提供不同压强的压缩气体，以挤出储液罐内的冷却液；流体管路，与储液罐连接，并且根据不同的流动速率将从储液罐中挤出的冷却液流动至热负载，以对热负载进行制冷，冷却液在流体管路中的流动速率与气体供应模块提供的压缩气体的压强相关联；控制模块，分别与气体供应模块及热负载通信连接，并且根据获取到的热负载的加热功率控制气体供应模块向储液罐内提供的压缩气体的压强，以控
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112397466 B (45)授权公告日 2021.07.09 (21)申请号 202011060241.7 (56)对比文件
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