激光退火装置.pdfVIP

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2023-05-29 发布于四川
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激光退火装置.pdf

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本发明提供一种激光退火装置，其包括：激光光源，其放射激光；激光整形部，其接收从所述激光光源放射的激光，并以既定的大小及形态的线光束整形；成像光学系统，其使整形的激光通过后集束，并向退火对象物基板照射；基台，其装载所述基板并使其与基板面平行地在平面上移动，并且，还包括激光补正部，其检查从所述激光光源放射的激光到达至所述基板的激光状态及路径，并根据检查结果补正激光的状态及路径。根据本发明能够补正在激光光源及路径上的光学要素的不稳定性引起的激光的路径或状态的变化，从而，能够准确地在基台上的基板的准确位

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112424920 A (43)申请公布日 2021.02.26 (21)申请号 201880095618.7 (74)专利代理机构北京青松知识产权代理事务