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背照式图像传感器及其制造方法.pdfVIP

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    本发明提供一种背照式图像传感器及其制造方法，由于在本发明的制造方法中将第一掩模层中的图形复制至氧化材料层以形成氧化层，并使氧化层中位于切割道区的部分具有至少一个标记开口的步骤，和去除第一掩模层的步骤在同一刻蚀工艺中同时进行。如此，使得本发明的背照式图像传感器在制造过程中，工艺简单，流程简短。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112397540 A (43)申请公布日 2021.02.23 (21)申请号 202011273183.6 (22)申请日 2020.11.13 (71)申请人 武汉新芯集成电路制造有限公司

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