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2023-05-26 发布于四川
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本发明提供了一种MEMS声传感器，其包括具有背腔的基底、定子及活动悬臂，所述定子具有悬置于所述背腔的中心部及自所述中心部延伸至所述基底并固定在所述基底上的至少两个固定臂，所述活动悬臂位于相邻两所述固定臂之间，所述活动悬臂固定在所述基底上，且所述活动悬臂至少部分正对所述背腔。其中，所述活动悬臂具有固定于所述基底的固定端以及与所述固定臂相对且间隔设置的自由边，所述自由边上形成有多个移动梳齿，所述定子具有形成在所述固定臂上的多个固定梳齿，所述移动梳齿和所述固定梳齿彼此配合以形成具有重叠区域的电容器。与

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112261526 B (45)授权公告日 2022.08.09 (21)申请号 202011150290.X (51)Int.Cl.