一种梯形梳齿、静电梳齿驱动器及MEMS扫描镜.pdfVIP

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2023-05-26 发布于四川
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一种梯形梳齿、静电梳齿驱动器及MEMS扫描镜.pdf

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本发明公开了一种梯形梳齿，所述梯形梳齿的根部宽度大于头部宽度，且所述梯形梳齿的宽度从梯形梳齿根部到梯形梳齿头部单调减小。梯形梳齿设计，其梳齿根部的宽度大于梳齿头部宽度，在保持梳齿平均宽度不变的情况下，可以大幅度增加梳齿根部的刚度；在芯片尺寸一定的情况下，采用本发明的梯形状梳齿结构，相较于现有技术中的矩形梳齿结构，可以大幅度提高梳齿驱动器的驱动扭矩、增大驱动角度，或者减小芯片尺寸、降低驱动电压，大幅度提高芯片的技术性能、降低芯片的成本。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112255781 A (43)申请公布日 2021.01.22 (21)申请号 202011343335.5 (22)申请日 2020.11.25 (71)申请人苏州小优智能科技有限公司