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本发明提供一种用于微泵的单向阀及其制备方法，包括：具有形变部及至少一个窗口的阀元件；设置有台阶槽的第一微流控元件；设置有流道的第二微流控元件；阀元件键合于第一微流控元件的台阶槽中，第二微流控元件与第一微流控元件连接，且第二微流控元件的流道形成于阀元件的形变部的上方，通过设置带有台阶槽的第一微流控元件，并使阀元件的横截面与第一凹槽的横截面适配，并将阀元件键合于所述台阶槽内，大大提高了单向阀的阀元件与微流控元件之间的连接牢固性，实现了牢固的单向阀结构；采用将阀元件键合于台阶槽内的内嵌式设计结构，有效
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112283082 A (43)申请公布日 2021.01.29 (21)申请号 20191
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