掩膜板及其制备方法.pdfVIP

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2023-05-26 发布于四川
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掩膜板及其制备方法.pdf

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本申请提供了一种掩膜板及其制备方法。所述掩膜板包括图案化区，具有包括多个开口的图案化层；接合区，位于图案化区的外围，具有与外框接合的接合部；以及过渡区，位于图案化区和接合区之间，具有过渡部，所述过渡部附接至图案化层和接合部；其中，图案化层的厚度小于接合部的厚度以及所述过渡部的与所述图案化层附接的部分的厚度小于所述过渡部的与所述接合部附接的部分的厚度。本发明的掩膜板可以缓解图案化层较薄容易变形的问题并且提高了图案化层的平坦度。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112267092 B (45)授权公告日 2023.04.07 (21)申请号 202011160570.9 H10K 71/10 (2023.01) (22)申请日 2020.10