用于将设计与工艺协同优化的方法和设备以及存储介质.pdfVIP

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2023-05-26 发布于四川
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用于将设计与工艺协同优化的方法和设备以及存储介质.pdf

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本文描述了用于将设计与工艺协同优化的方法和设备以及存储介质。在此描述的用于将设计与工艺协同优化的方法包括：针对技术节点，生成工艺方案；基于所述工艺方案，生成设计方案；以及基于所述设计方案来更改所述工艺方案，以用于生成优化方案，其中生成工艺方案包括基于与所述工艺方案的良率相关联的第一良率信息来生成所述工艺方案，以及/或者生成设计方案包括基于与所述设计方案的良率相关联的第二良率信息来生成所述设计方案。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112270157 A (43)申请公布日 2021.01.26 (21)申请号 202011237634.0 (22)申请日 2020.11.09 (71)申请人全芯智造技术有限公司