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本公开提供了一种CO2激光增透膜及其制备方法,所述CO2激光增透膜由基底层、第一氟化镱层、第一硫化锌层、第二氟化镱层以及第二硫化锌层组成,在所述基底层沿所述基底层的厚度方向的表面上依次设置有所述第一氟化镱层、第一硫化锌层、第二氟化镱层以及第二硫化锌层;所述第一氟化镱层的膜层厚度和所述第二氟化镱层的膜层厚度之和大于所述第一硫化锌层的膜层厚度和所述第二硫化锌层的膜层厚度之和。因此,通过膜层结构的设计使CO2激光增透膜在使用时自身产热低且同时实现高透过率,以提高CO2激光增透膜的使用寿命。
(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112269220 B (45)授权公告日 2022.05.27 (21)申请号 202011158682.0 C23C 14/24 (2006.01) (22)申请日 2020
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