掩膜板的修复方法.pdfVIP

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2023-05-26 发布于四川
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掩膜板的修复方法.pdf

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本申请实施例提供一种掩膜板的修复方法，该掩膜板包括具有开口的框式框架、多个第一遮挡条和多个掩膜条，框式框架包括在第一方向上相对的左边框和右边框，以及在第二方向上相对的上边框和下边框，第一遮挡条及掩膜条固定于上边框和下边框。该修复方法包括：识别掩膜条变形区，掩膜板中具有沿第二方向上外扩变形的掩膜条的区域识别为掩膜条变形区；替换遮挡条，对第二遮挡条进行张网处理，用第二遮挡条替换掩膜条变形区中的至少部分第一遮挡条并连接至上边框和下边框，使外扩变形掩膜条沿第二方向向内回缩。本申请旨在降低掩膜板修复过程的

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112251715 B (45)授权公告日 2022.06.24 (21)申请号 202011133646.9 (56)对比文件