一种高疏水性超薄晶圆清洗方法.pdfVIP

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2023-05-26 发布于四川
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一种高疏水性超薄晶圆清洗方法.pdf

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本公开公开了一种高疏水性超薄晶圆清洗方法，属于晶圆生产技术领域，包括以下步骤：S1：将超薄晶圆采用重直式固定于治具内，将治具置入清洗槽中定位，腔体上盖密封；S2：使用去离子水在清洗槽中溢流；S3：使用高环度臭氧作用于晶圆表面，移除不纯物有机物及金属污染；S4：晶圆表面形成氧化层，使疏水性超薄晶圆表面转为亲水性超薄晶圆表面；S5：缓慢排出清洗槽内去离子水；S6：密封水槽上盖，利用抽气泵快速抽出水槽内气体形成真空状态，超薄晶圆表面水滴干燥气化形成疏水性表面；S7：将清洗干燥后的超薄晶圆连同治具提出清

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112259444 A (43)申请公布日 2021.01.22 (21)申请号 202011119886.3 (22)申请日 2020.10.19 (71)申请人绍兴同芯成集成电路有限公司