一种阵列基板及其制造方法.pdfVIP

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2023-05-26 发布于四川
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一种阵列基板及其制造方法.pdf

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本发明涉及一种阵列基板及其制造方法，阵列基板包括包括薄膜晶体管，还包括第一透明导电层和第二透明导电层，其中，薄膜晶体管包括位于顶部的栅极、位于底部的半导体层、与第一透明导电层电性连接的源极、与第二透明导电层电性连接的漏极；第一透明导电层和第二透明导电层位于半导体层上且第一透明导电层和第二透明导电层之间不连通。本发明通过在半导体层的上方形成分离的第一透明导电层和第二透明导电层，由于第一透明导电层和第二透明导电层的形成材料为ITO，可以明显降低源极和漏极与半导体层之间的接触阻抗，第一透明导电层和第二

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112271183 A (43)申请公布日 2021.01.26 (21)申请号 202011054103.8 (22)申请日 2020.09.29 (71)申请人南京中电熊猫液晶显示科技有限公