一种应用于玻璃衬底CIGS薄膜太阳电池的低成本制备方法.pdfVIP

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2023-05-26 发布于四川
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一种应用于玻璃衬底CIGS薄膜太阳电池的低成本制备方法.pdf

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本发明涉及一种玻璃衬底CIGS薄膜太阳电池的低成本制备方法，所述方法包含以下步骤：首先对玻璃衬底进行清洗，沉积背电极Mo层；然后在Mo层上沉积铜铟镓硒(CIGS)薄膜，沉积时玻璃衬底不加热；接着将沉积有CIGS薄膜的镀Mo玻璃在无硒的惰性气氛中进行退火处理，从而改善CIGS薄膜的结晶性；最后在退火后的CIGS薄膜上依次沉积CdS缓冲层、本征氧化锌(i‑ZnO)窗口层和掺铝氧化锌(AZO)透明导电层，形成完整的CIGS薄膜太阳电池器件。本发明所述方法在退火过程中使用普通惰性气体保护，无需使用难以控

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112259639 A (43)申请公布日 2021.01.22 (21)申请号 202011114209.2 (22)申请日 2020.10.20 (71)申请人北京圣阳科技发展有限公司