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本发明涉及多重图形热点优化方法,针对初始拆分方式中多重图形热点,对热点附近图形进行重新拆分,热点附近图形拆分方式改变后,影响整个版图的拆分方式,评估不同重新拆分方式对热点工艺窗口的影响、及不同重新拆分方式对整个版图工艺窗口的影响,从而选出最佳热点附近图形拆分方式,而提高多重图形工艺窗口。
(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112255896 B (45)授权公告日 2023.04.07 (21)申请号 202011305476.8 (56)对比文件 (22)申请日 2020.11.20
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