一种金属氧化物微纳结构、其制备方法和应用.pdfVIP

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2023-05-26 发布于四川
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一种金属氧化物微纳结构、其制备方法和应用.pdf

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本发明属于微纳材料合成及器件制备技术领域，更具体地，涉及一种金属氧化物微纳结构、其制备方法和应用。本发明通过将金属氧化物前驱体溶胶凝胶与醇类有机改性剂混合后涂覆于衬底表面，采用飞秒激光对前驱体溶胶凝胶薄膜进行直写，利用飞秒激光光焦点处产生的热量使金属氧化物前驱体发生反应生成金属氧化物，同时在衬底表面形成金属氧化物微纳结构；由于在溶胶凝胶中添加有醇类有机改性剂，该有机改性剂经实验证明能够显著改善得到的金属氧化物微纳结构形貌，使得纳米颗粒连续均匀，优选实施例中制备得到的紫外微纳光电探测器开关比相较于

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112271238 B (45)授权公告日 2022.05.13 (21)申请号 202011309049.7 H01L 31/032 (2006.01)