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一种新型状态可监控可调的气囊工具头,涉及超精密抛光加工领域。包括半柔性球冠气囊外壳、气囊工具头刀柄、开槽锁紧圆螺母、气电滑环、精密对刀装置和气囊工具头状态监控系统;半柔性球冠气囊外壳通过开槽锁紧圆螺母压紧固定安装在气囊工具头刀柄上,气囊工具头刀柄与外部驱动装置的轴联结,气电滑环转子安装在驱动气囊工具头转动的装置的轴上,气电滑环定子安装在驱动气囊工具头转动的装置的固定结构上,精密对刀装置安装在气囊工具头刀柄的安装孔上,气囊工具头状态监控系统的各传感器分布在气囊工具头各状态发生的位置,由排布在气囊工
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112247836 A (43)申请公布日 2021.01.22 (21)申请号 202011131527.X (22)申请日 2020.10.21 (71)申请人 厦门大学 地址 36
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