MEMS换能器以及用于操作该MEMS换能器的方法.pdfVIP

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2023-05-26 发布于四川
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MEMS换能器以及用于操作该MEMS换能器的方法.pdf

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公开了MEMS换能器以及用于操作该MEMS换能器的方法。MEMS换能器，包括第一和第二差分MEMS传感器设备。第一差分MEMS传感器设备包括用于提供第一差分输出信号的第一电极结构和第二电极结构，以及在第一电极结构和第二电极结构之间的第三电极结构。第二差分MEMS传感器设备包括用于提供第二差分输出信号的第一电极结构和第二电极结构，以及在第一电极结构和第二电极结构之间的第三电极结构。一种偏置电路，用于将第一偏置电压提供给第一差分MEMS传感器设备的第三电极结构，并将第二偏置电压提供给第二差分MEMS

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112291694 A (43)申请公布日 2021.01.29 (21)申请号 202010721799.9 (51)Int.Cl.