一种原位批量制备高质量石墨烯的方法及其产品.pdfVIP

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2023-05-26 发布于四川
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一种原位批量制备高质量石墨烯的方法及其产品.pdf

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本发明涉及一种原位批量制备高质量石墨烯的方法及其产品，属于石墨烯制备技术领域。本发明将多片铜箔竖直放置后，在各片基片之间放入自制的石英杆，从而组成多个限域通道结构(由于在高温条件下对基片内部表面的金属蒸发后能够再沉积到表面，从而在这些限域通道结构内，能够显著降低基片表面的粗糙度)，将其在CVD管式炉中进行高温退火处理后通入碳源气体生长形成高质量的石墨烯。由于平整的表面不利于石墨烯的成核，因此本发明对生长基底的预处理极大地降低了基片表面石墨烯的成核密度，为高质量石墨烯的生长创造了条件，并且能够进行

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112265984 A (43)申请公布日 2021.01.26 (21)申请号 202011194328.3 (22)申请日 2020.10.30 (71)申请人中国科学院重庆绿色智能技术研究