端面耦合器和半导体器件.pdfVIP

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2023-05-26 发布于四川
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端面耦合器和半导体器件.pdf

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公开了一种端面耦合器和半导体器件。端面耦合器包括：衬底；绝缘层，所述绝缘层位于所述衬底上；第一波导层，所述第一波导层位于所述绝缘层上；间隔层，所述间隔层位于所述第一波导层上；以及第二波导层，所述第二波导层位于所述间隔层上并且包括亚波长光栅和传输波导，所述亚波长光栅用于将从光纤接收的光进行模斑转换，并且将经模斑转换的光传输至所述传输波导。所述传输波导的至少一部分在竖直方向上与所述第一波导层的至少一部分对准，从而将在所述传输波导中传输的光耦合至所述第一波导层中。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112255727 A (43)申请公布日 2021.01.22 (21)申请号 202011189427.2 (22)申请日 2020.10.30 (71)申请人联合微电子中心有限责任公司