薄膜沉积旋转盘系统.pdfVIP

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2023-05-26 发布于四川
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薄膜沉积旋转盘系统.pdf

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本公开为一种薄膜沉积旋转盘系统，包括机台，机台上设有至少一晶圆凹座，其内设有一碟盘，且碟盘上设有晶圆容置槽。碟盘中央还穿设有晶圆升降装置，其包括一顶柱穿设在一套管内。机台上还设有一第一输气通道，以输送气体至套管的输气穿孔中，令套管内的顶柱根据气体的流量大小升降，以将晶圆容置槽上的晶圆顶出。机台上还设有一排气通道，当顶柱位于套管内的高度超过排气穿孔时，气体可由套管上的排气穿孔排出至排气通道，以调节顶柱的升降高度，等到流量与顶柱的高度平衡后，机械手臂即可进入夹取晶圆。本公开有助于机械手臂取放晶圆，有

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112251735 A (43)申请公布日 2021.01.22 (21)申请号 202011160763.4 C23C 16/455 (2006.01) (22)申请日