一种NOx气体传感器.pdfVIP

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2023-05-26 发布于四川
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一种NOx气体传感器.pdf

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本发明公开了属于气体传感器领域的一种NOx气体传感器；其中自下而上依次包括：硅基底层、支撑层、加热电极、绝缘层、测试电极层；其中硅基底层上方的测试端一侧开有隔热腔；支撑层完全覆盖硅基底层；加热电极设置于支撑层和绝缘层之间，绝缘层用于隔离加热电极和测试电极层；所述测试电极层包括：平行排列的第二电极、第一电极和第三电极，其中第一电极、第二电极和第三电极均由电极端延伸至测试端。本发明中第一电极选用对NOx敏感材料制作，第二、第三电极采用贵金属制作，并构成三电极体系。测试时，第三电极作为参比电极，可调控

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112268938 A (43)申请公布日 2021.01.26 (21)申请号 202011132592.4 (22)申请日 2020.10.21 (71)申请人有研工程技术研究院有限公司