将图形处理单元用于基板路由及吞吐量建模.pdfVIP

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2023-05-26 发布于四川
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将图形处理单元用于基板路由及吞吐量建模.pdf

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本文公开了用于在集成基板处理系统中安排基板处理序列的方法、系统、及非暂时性计算机可读取介质。处理装置针对一批半导体基板产生处理模型。该处理模型针对该集成基板处理系统中的每个处理腔室中的每个半导体基板定义对应的开始时间。一个或多个图形处理单元(GPU)基于该处理模型产生平行输入，且通过该一个或多个GPU的多个核心并行处理该平行输入以针对该批半导体基板产生平行输出。在该一个或多个GPU的该多个核心中的相异核心上处理该平行输入中的每一者，以产生对应的平行输出。该处理装置使在该集成基板处理系统中基于该平

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112292748 B (45)授权公告日 2022.05.24 (21)申请号 201980042228.8 (72)发明人什亚姆 ·桑德 ·伊曼尼　 (22)申请日 2019.06.21