二硫化钼基掺杂陶瓷相多元复合薄膜及其制备方法与应用.pdfVIP

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2023-05-26 发布于四川
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二硫化钼基掺杂陶瓷相多元复合薄膜及其制备方法与应用.pdf

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本发明公开了一种二硫化钼基掺杂陶瓷相多元复合薄膜及其制备方法与应用。所述二硫化钼基掺杂陶瓷相多元复合薄膜包括在其厚度方向上依次层叠的钛过渡层、钛/碳化硅/二硫化钼多层梯度过渡层和二硫化钼/碳化硅掺杂层。所述制备方法包括：采用磁控溅射技术，在基体表面依次沉积钛过渡层、钛/碳化硅/二硫化钼多层梯度过渡层和二硫化钼/碳化硅掺杂层，获得二硫化钼/碳化硅复合薄膜。本发明的二硫化钼基掺杂陶瓷相多元复合薄膜具有高硬度(不小于8GPa)及弹性模量，结合力达到20N，真空环境摩擦系数达到0.01，不同湿度环境下均

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112251726 B (45)授权公告日 2021.08.13 (21)申请号 202011125592.1 (51)Int.Cl.